PECVD-putkiuuni
PECVD-putkiuuni on plasmakaasufaasipinnoitusputkiuunijärjestelmä, joka koostuu kvartsireaktiokammiosta, radiotaajuusvirtalähteestä, monikanavaisesta kaasunsekoitusjärjestelmästä, tyhjiöyksiköstä ja reaktion ohjausjärjestelmästä. Uunissa käytetään erittäin puhdasta alumiinioksidikuitumateriaalia, ja pinta on päällystetty tuodulla korkean lämpötilan alumiinioksidipinnoitteella instrumentin käyttöiän pidentämiseksi ja lämmitystehokkuuden parantamiseksi. Perinteisen kemiallisen höyrypinnoituksen eteen asennetaan radiotaajuinen induktiolaite reaktiokaasun ionisoimiseksi ja plasman tuottamiseksi. Plasman korkea aktiivisuus kiihdyttää reaktiota. Sillä on hyvä tasaisuus ja toistettavuus, se voi muodostaa kalvoja suurelle alueelle, voi muodostaa kalvoja alhaisissa lämpötiloissa, sillä on erinomainen askelpeitto, ja kalvon koostumusta ja paksuutta on helppo hallita ja se on helppo teollistaa. Sitä käytetään laajalti ohuiden kalvojen, kuten grafeenin, piimonoksidin, piinitridin, piioksinitridin ja amorfisen piin (A-SI: H) kasvattamiseen.
| Uunin putken koko (MM) | Käyttölämpötila (°C) | Tyhjiöaste | Teho (KW) | Jännite | Lämmityselementit | Lämmitysnopeus |
| Φ60*2200 | 1100 °C | -0,1MPA 10PA 6,67*10-4PA | 3 | 220/380V | Vastuslanka | 1-20°C/MIN |
| Φ80*2200 | 3 | |||||
| Φ100*2200 | 4 | |||||
| Φ120*2200 | 5 |
-
Miksi Hot Oil Tracing ansaitsee edelleen paikkansa prosessitehtaissa Jalostamon on pidettävä rikin siirtolinja sulamispisteensä yläpuolella 400 metrin putkitelineessä, jossa ei ole höyryn syöttöä. Kemiantehtaan on pidettävä polymeerilinja vakaana 200 °C:ssa talven läpi. Molemmissa tapauksissa kuumaöljyjäljitys tuottaa tasaista, hallittavaa lämpöä ilman höyryn lauhteenkäsittelyä tai vastusjäljityksen sähköistä kuormitusta. Harkitse kuuman öljyn jäljitystä, kun työmaalla on jo lä...
