PECVD-uunijärjestelmä
Tämä tuote on keskikokoinen, liukuava PECVD-järjestelmä. Tämä PECVD-putkiuunijärjestelmä on varustettu plasma-RF-virtalähteellä, kolmisuuntaisella massavirtauskaasun sekoitusjärjestelmällä (alueet 1-100 SCCM, 1-200 SCCM ja 1-200 SCCM), halkaisijaltaan 60 mm:n avoputkiuunilla (tyhjölaipalla ja liitäntäputkistolla ) ja mekaanisella pumpulla.
Tuotetiedot
| Tuotteen malli | Liukuva PECVD-putkiuunijärjestelmä—OYS-1200C-II-60-PECVD (Φ60) |
| Tärkeimmät tuoteparametrit | Virtalähde: 220V 50/60Hz; Nimellisteho: 3,1 kW; Maksimi käyttölämpötila: 1200°C (<0,5 h); Jatkuva käyttölämpötila: ≤1100°C; Suositeltu kuumennusnopeus: ≤10°C/min; Lämmitysalueen pituus: 440mm; Termopari: K-tyyppi |
| Pääominaisuudet | RF-virtalähde voi parantaa plasmaa ja vähentää merkittävästi kokeellista lämpötilaa; nopea lämpötilan nousu ja lasku voidaan saavuttaa liu'uttamalla uunin runkoa; kalvon jännitystä voidaan ohjata RF-virtalähteen taajuudella; stoikiometriaa voidaan ohjata prosessisäädöllä; erilaisia materiaaleja, kuten SiOx, SiNx, SiOxNy ja (a-Si:H) voidaan kerrostaa |
| Lämmityselementti | Rauta-kromi-alumiiniseoslanka 0Cr21Al6Nb |
| Uunin putken koko | Kvartsiputken halkaisija valinnainen: Φ60 |
| Lämpötilan säätöjärjestelmä | Sisältää YD858 lämpötilansäätimen; PID-säätö ja itsevirityssäätö, älykäs 50-segmentin ohjelmoitava ohjaus, ylilämpötila- ja palamishälytystoiminnot; lämpötilan säädön tarkkuus: ±1℃ |
| Plasma RF virtalähde | 300 W RF-virtalähde; Lähtöteho: 0 ~ 300W säädettävissä; RF-taajuus: 13,56 MHz; Automaattinen sovitus; melutaso < 50dB; Jäähdytysmenetelmä: Ilmajäähdytys; Tulojännite: 180-250V |
| Tyhjiötiivistyslaipan liitäntä | Vakiokokoonpano: pari ruostumattomasta teräksestä valmistettua alipainelaippaa ja korkean lämpötilan silikonitiivisterenkaita; ulostulolaipat ovat kolmiporttiset laipat K16, KF25 ja Φ8.2; ulostulolaippa voidaan liittää KF25-sovittimeen palkeella ja sitten tyhjiöpumppuun. |
| tyhjiöpumppu | Hyväksy kaksinkertainen pyörivä siipi mekaaninen tyhjiöpumppu TRP-12; tyhjiöaste voi olla 10-2 torria; tyhjiöliitäntätarvikkeet on varustettu KF25-kiinnittimillä ja ruostumattomasta teräksestä valmistetuilla palkeilla putkiuunin ja tyhjiöpumpun yhdistämiseen |
| Kaasunsyöttöjärjestelmä | Kolmitie massavirtaussekoitusjärjestelmä - GYS-3Z; Virtalähde: 220V 50/60Hz; Mittausalueet: 1-100 SCCM, 1-200 SCCM, 1-500 SCCM; Mekaaninen painemittari asennetaan etupaneeliin ja liitetään sekoitusputkeen; Painemittarin alue: -0,1-0,15 MPa; Sekoitussäiliön koko: Φ80 * 120mm; Sisäinen yhdysputki on Φ6.35 |
| Uunin rakenne | Uunin runkoa voidaan siirtää vasemmalle ja oikealle, ja RF-virtalähdettä voidaan siirtää vasemmalle ja oikealle. Uunin runko ja RF-virtalähde on asennettu samalle liukukiskolle ja käyttävät samaa kvartsiputkea. |
| Sertifiointistandardit ja ydinkomponentit | Koko koneen ydinkomponentit ovat CE-, UL-, MET- ja muiden sertifiointistandardien mukaisia; ydinkomponentteihin kuuluvat ABB:n sähkökomponentit, UL-sertifioidut johdot ja kaapelit, Omega, Yudian, Continental-instrumentit jne. |
Ota yhteyttä
Zhejiang Nengcheng Crystal Fiber Co., Ltd.
Zhejiang Nengcheng Crystal Fiber Co., Ltd. perustettiin vuonna 2015. Se on ammattimainen yritys, joka kehittää ja valmistaa erittäin kevyitä, energiaa säästäviä korkean lämpötilan materiaaleja ja myy kokeellisia sähköuuneja, teollisia sähköuuneja ja epästandardeja räätälöityjä sähköuuneja. Ammattimainen PECVD-uunijärjestelmä Valmistajat ja PECVD-uunijärjestelmä Tehdas. Yritys noudattaa periaatetta "selviytyminen laadun, kehityksen maineen kautta" ja ylläpitää liiketoimintafilosofiaa "käytännöllisyys, rehellisyys ja tehokkuus". Olemme sitoutuneet tarjoamaan kattavia ja korkealaatuisia laiteratkaisuja asiakkaille esimerkiksi keramiikan, metallurgian, elektroniikan, lasin ja kemiantekniikan aloilla. Tarjoamme myös palveluita, kuten jauhepasutusta, keraamisen sintrauksen ja korkean lämpötilan kokeita, yliopistoille, tutkimuslaitoksille sekä teollisuus- ja kaivosyrityksille. Samaan aikaan pyrimme edistämään Nengchengin kevyen, energiaa säästävän ja ympäristöystävällisen korkean lämpötilan alumiinioksidikuidun strategista kehitystä uusien uunien alalla ja pyrimme tulemaan kansainvälisesti johtavaksi edistyneiden korkean lämpötilan laitteiden palveluntarjoajaksi teollisuudessa. PECVD-uunijärjestelmä Mukautettu.
Viimeisimmät uutiset
-
A:n perusrakenne Tyhjiöuuni Tyhjiöuuni koostuu useista integroiduista järjestelmistä, jotka on suunniteltu toimimaan kontrolloiduissa matalapaineisissa olosuhteissa. Ydinrakenne sisältää tyhjiökammion, lämmitysjärjestelmän, eristyskokoonpanon, tyhjiöpumppuyksikön ja ohjausjärjestelmän. Jokaisella komponentilla on erityinen rooli vakaan lämpö- ja ilmakehän ympäristön ylläpitämisessä lämpökäsittelyn aikana. Tyhjiökammio on tyypillisesti valmistettu ruostumattomasta teräksestä tai hi...
